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超純水裝置是經(jīng)反滲透、離子交換、超濾等多級(jí)工藝深度純化的水，幾乎去除水中的金屬離子、有機(jī)物、微顆粒與微生物，終端電阻率最高可達(dá) 18.25MΩ?cm，接近理論純水極限。其純度遠(yuǎn)高于蒸餾水、去離子水，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓清洗、光伏電池制造、醫(yī)藥注射劑配制、精密分析檢測(cè)等對(duì)水質(zhì)要求的領(lǐng)域，是電子制造與精密科研的基礎(chǔ)耗材。