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電子級(jí)精餾塔是無(wú)水HF深度提純核心裝備,去除工業(yè)HF中金屬離子、砷、硅、硫、顆粒物、低沸/高沸雜質(zhì),單塔產(chǎn)出SEMIG3,雙塔串聯(lián)可穩(wěn)定量產(chǎn)G4/G5(金屬雜質(zhì)ppt級(jí)),適配12寸晶圓蝕刻、先進(jìn)制程清洗;介質(zhì)強(qiáng)腐蝕,全過(guò)流無(wú)金屬、無(wú)石英是硬性標(biāo)準(zhǔn)。二、材質(zhì)體系(重中之重,直接決定純度)1.塔體/筒體/封頭/管道/閥門(mén):高純模壓PFA一體成型低離子析出(<18μg/L)、透明可視、耐HF長(zhǎng)期高溫負(fù)壓,無(wú)內(nèi)襯接縫、無(wú)滲漏,長(zhǎng)期使用不蠕變,滿足G4/G5超高純要求。經(jīng)濟(jì)型:改性P...
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一、產(chǎn)品定義無(wú)金屬析出亞沸精餾機(jī)組是半導(dǎo)體超高純電子化學(xué)品專(zhuān)用成套提純?cè)O(shè)備,核心兩大技術(shù)壁壘:全惰性無(wú)金屬流路:所有接觸物料、蒸汽部件無(wú)不銹鋼、碳鋼、銅等金屬,從源頭杜絕金屬離子溶出污染;亞沸低溫汽化精餾:物料低于沸點(diǎn)表層溫和揮發(fā),無(wú)沸騰霧沫夾帶,物理截留重金屬、微粒雜質(zhì)。產(chǎn)出試劑穩(wěn)定達(dá)到UP/UPSS電子級(jí),適配芯片清洗、濕法刻蝕、ICP-MS痕量分析等高潔凈場(chǎng)景。二、核心工作原理1.亞沸分離(杜絕霧沫夾帶雜質(zhì))采用紅外輻射/環(huán)繞低溫加熱,液相溫度控制在沸點(diǎn)以下5~20℃,...
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液液萃取設(shè)備核心功能:兩相充分混合傳質(zhì)+快速分層分離,按規(guī)模分為實(shí)驗(yàn)室小型設(shè)備、工業(yè)連續(xù)設(shè)備三大類(lèi):混合澄清槽(萃取槽)、萃取塔、離心萃取機(jī)。一、實(shí)驗(yàn)室小試/分析型萃取設(shè)備1.基礎(chǔ)手動(dòng)萃取分液漏斗原理:人工振蕩混合,重力靜置分層適用:微量樣品、單次間歇萃?。?0~1000mL)優(yōu)點(diǎn):成本極低、操作簡(jiǎn)單;缺點(diǎn):效率低、易乳化、人工量大分液漏斗振蕩器批量夾持多支漏斗,自動(dòng)振蕩、倒裝泄壓防噴濺,水質(zhì)檢測(cè)、環(huán)境樣品前處理專(zhuān)用儀器信息網(wǎng)2.連續(xù)萃取裝置連續(xù)液液萃取器(CLE)回流循環(huán)溶...
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高純酸亞沸精餾提純?cè)O(shè)備采用石英與PFA惰性材質(zhì),亞沸汽化杜絕霧沫夾帶,搭配精密回流系統(tǒng),可將強(qiáng)酸中重金屬雜質(zhì)提純至ppt等級(jí)。二、技術(shù)核心解析工藝優(yōu)勢(shì)采用低溫亞沸表層汽化,液體不沸騰,氣溶膠無(wú)法上升,釜內(nèi)重金屬殘?jiān)粫?huì)被帶入氣相;再通過(guò)精餾柱多級(jí)氣液傳質(zhì),分離水分、輕組分雜質(zhì),兼顧除顆粒與組分切割雙重能力,遠(yuǎn)超普通單級(jí)亞沸蒸餾器。材質(zhì)配置常規(guī)強(qiáng)酸(硝酸、鹽酸、硫酸):高純?nèi)廴谑⑺w,無(wú)堿金屬析出;與混酸體系:整機(jī)PFA一體成型,無(wú)硅污染,耐強(qiáng)腐蝕;閥門(mén)、收集管路全部采用PF...
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溶劑回收精餾是化工、醫(yī)藥、新材料行業(yè)溶劑循環(huán)利用的核心工序,傳統(tǒng)精餾塔依靠外置熱源持續(xù)供熱、冷卻水強(qiáng)制冷凝,存在能源消耗量大、能量利用率低、運(yùn)行成本偏高的普遍問(wèn)題。開(kāi)展精餾系統(tǒng)全流程能耗分析,精準(zhǔn)定位能耗損耗節(jié)點(diǎn),結(jié)合熱泵精餾技術(shù)進(jìn)行工藝升級(jí),可實(shí)現(xiàn)能量梯級(jí)利用,大幅降低溶劑回收工序的綜合能耗,提升溶劑資源化利用效益。傳統(tǒng)溶劑回收精餾塔能耗損耗主要集中在多個(gè)核心環(huán)節(jié)。塔釜加熱環(huán)節(jié)需持續(xù)輸入高位熱能維持物料沸騰分離,大量高品質(zhì)熱能僅用于維持溫差傳熱,能量利用單一且損耗高。塔頂氣...
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一、設(shè)備原理(亞沸精餾核心)亞沸精餾(亞沸蒸餾精餾),將液相溫度穩(wěn)定控制在沸點(diǎn)以下5~20℃,液體整體不沸騰,只發(fā)生液面分子靜態(tài)汽化,杜絕霧沫夾帶,膠體、重金屬、顆粒物不會(huì)被氣相攜帶,再經(jīng)過(guò)多級(jí)填料精餾進(jìn)一步分離輕重組分,把金屬離子提純至ppb~ppt級(jí),專(zhuān)門(mén)用來(lái)精制超高純?cè)噭?、濕電子化學(xué)品、超純水與熱敏物料。區(qū)別:普通精餾是沸騰汽化,極易把非揮發(fā)性雜質(zhì)帶入餾分;亞沸只做表面分子擴(kuò)散,無(wú)鼓泡、無(wú)噴濺。二、整機(jī)模塊化組成(整套精餾設(shè)備)1.亞沸蒸發(fā)單元(核心部件)加熱形式:紅外...
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透明可視化全程觀察塔內(nèi)氣液接觸、泡沫層、液泛、填料潤(rùn)濕情況,方便快速調(diào)試工藝參數(shù)。耐腐蝕,物料無(wú)污染高硼硅玻璃化學(xué)穩(wěn)定性好,耐酸、耐有機(jī)溶劑,無(wú)金屬離子析出,特別適合高純?cè)噭⑨t(yī)藥中間體、電子化學(xué)品提純。拆裝便捷,模塊化組裝塔節(jié)分段拼接,可隨意增減塔高,靈活改變理論板數(shù);進(jìn)料口、測(cè)溫口可按需加裝,間歇與連續(xù)工藝都能適配。內(nèi)壁光滑,易清洗無(wú)物料掛壁殘留,更換不同物料時(shí)清洗簡(jiǎn)單,不會(huì)發(fā)生交叉污染,適合多品種小批量研發(fā)試驗(yàn)。密封性好,真空性能優(yōu)異搭配四氟密封,可實(shí)現(xiàn)高真空減壓操作,...
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一、系統(tǒng)定義半導(dǎo)體精餾系統(tǒng)是面向晶圓制造、先進(jìn)制程濕電子化學(xué)品量產(chǎn)的成套超純精餾一體化裝置,整合脫輕、精密精餾、脫重、亞沸精制、超凈輸送、全自動(dòng)DCS管控整套單元,嚴(yán)格遵循SEMIG1/G2/G4高純?cè)噭?biāo)準(zhǔn),用于制備電子級(jí)高純硝酸、鹽酸、高純有機(jī)溶劑、光刻配套試劑、顯影液、剝離液、硅源原料等,實(shí)現(xiàn)金屬雜質(zhì)、顆粒、TOC、陰陽(yáng)離子控制至ppt級(jí),適配28nm/14nm/7nm及以下先進(jìn)芯片制程。不含HF工況,無(wú)需全氟內(nèi)襯特化設(shè)計(jì),EP不銹鋼為主流用材,可獨(dú)立運(yùn)行或多套并聯(lián)規(guī)模...
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