電子超純水離子交換純化裝置

電子超純水離子交換純化裝置是通過陽樹脂、陰樹脂及混床樹脂多級離子交換，深度脫除水中金屬離子、鹽分、帶電雜質(zhì)的專用純水制備設(shè)備，終端出水電阻率可達(dá) 18.25MΩ?cm，滿足 SEMI G3-G5 級電子級超純水標(biāo)準(zhǔn)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓清洗、光伏電池制備、電子元器件生產(chǎn)、光刻工藝配套等場景。裝置按產(chǎn)水量分為實驗室小型機、中試機組與工業(yè)級大流量系統(tǒng)，全流程采用 UPVC、PVDF 等低析出材質(zhì)，杜絕二次離子污染，保障終端水質(zhì)穩(wěn)定性。

電子超純水離子交換純化裝置

整套系統(tǒng)采用多級串聯(lián)工藝架構(gòu)：前端配置預(yù)處理單元，經(jīng)精密過濾、活性炭吸附去除懸浮物與余氯，保護(hù)后續(xù)樹脂單元；核心純化段由陽床、陰床、拋光混床逐級遞進(jìn)，陽樹脂置換鈣鎂鈉等陽離子，陰樹脂去除硫酸根、氯根等陰離子，末端拋光混床實現(xiàn)痕量離子深度捕獲，將總有機碳與金屬離子控制在 ppt 級別；配套樹脂在線再生系統(tǒng)，通過酸堿液反洗恢復(fù)樹脂交換容量，延長設(shè)備使用壽命。裝置搭載電導(dǎo)率、電阻率、TOC 在線監(jiān)測儀表，實時反饋水質(zhì)狀態(tài)，PLC 全自動控制產(chǎn)水、再生、切換全流程，產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)，是電子制造、精密實驗室等高純水需求場景的核心設(shè)備。